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无线电电子学论文_InP HEMT外延结构材料抗电子

来源:电子设计工程 【在线投稿】 栏目:期刊导读 时间:2021-11-04 11:49
作者:网站采编
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摘要:文章摘要:为研究磷化铟高电子迁移率晶体管(InP HEMT)外延结构材料的抗电子辐照加固设计, 本文采用气态源分子束外延法制备了系列InP HEMT外延结构材料,针对不同外延结构材料开展

文章摘要:为研究磷化铟高电子迁移率晶体管(InP HEMT)外延结构材料的抗电子辐照加固设计, 本文采用气态源分子束外延法制备了系列InP HEMT外延结构材料,针对不同外延结构材料开展了1.5 MeV电子束辐照试验, 辐照注量为2×1015cm-2,并测试了InP HEMT外延结构材料二维电子气(2DEG)辐照前后的电学特性, 获得了辐照前后不同外延结构InP HEMT材料二维电子气归一化浓度和电子迁移率随外延参数的变化规律,分析了InP HEMT二维电子气辐射损伤与外延结构参数(如Si-δ掺杂浓度、InGaAs 沟道厚度和沟道In组分以及隔离层厚度等结构参数)依赖的关系。结果表明: Si-δ掺杂浓度越大,隔离层厚度较薄,InGaAs 沟道厚度较大,沟道In组分低的InP HEMT外延结构二维电子气辐射损伤相对较低,具有更强的抗电子辐照能力。经分析原因如下: 1)电子束与材料晶格发生能量传递, 破坏晶格完整性,且在沟道异质界面引入辐射诱导缺陷, 增加复合中心密度,散射增强导致二维电子气迁移率和浓度降低. 2) 高浓度Si-δ掺杂和薄隔离层有利于提高量子阱二维电子气浓度,降低二维电子气受辐射损伤的影响. 3)高In组分应变沟道有利于提高二维电子气迁移率,但辐照后更容易应变弛豫产生位错缺陷,导致二维电子气迁移率显著下降。

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项目基金:《电子设计工程》 网址: http://www.dzsjgc.cn/qikandaodu/2021/1104/1561.html



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